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活動ブログ - 電子デバイス研究室(平松研究室)

電子デバイス研究室(平松研究室)

カテゴリ : 
研究室紹介
執筆 : 
eei_admin 2012-5-31 21:42

 本研究室では,各種蒸着法を用いて遷移金属酸化物(セラミックス)のナノ薄膜を作製し,高レスポンスな湿度センサへの応用に向けた研究を行なっています.

 

 現在湿度センサは,エアコンや加湿器をはじめ,厳密な湿度管理を要するクリーンルームや培養室など幅広く機器や製品に設置されています.中でもセラミックス湿度センサは,物理的な衝撃に強く高温雰囲気中にも優れた耐久性を持つ材料です.しかし,焼成時に生成される気孔や粒界が,水分子や粒子を収着し排除できないという欠点をもっています.通常この収着水はセンサ材料への加熱によって排除しますが,自ずとセンサ機器は大きくなります.そこでセンサ材料をナノ薄膜化すれば,気孔粒界が抑制されセラミックスの欠点を補えるとともに,非常に高い湿度応答が期待できます.

 

 セラミックスのナノ薄膜化には,下記の蒸着装置を使用しています.
・多元電子ビーム蒸着装置(図1)
・RFマグネトロンスパッタリング装置(図2)

 

 

図1 多元電子ビーム蒸着装置 図2 RFマグネトロンスパッタリング装置

 

 現在,大学院生が1名,学部生6名で研究を行なっています.
  なお湿度センサ研究とは別に,現在スマートフォン等液晶パネルの電極に使われている透明導電膜を,基礎研究段階ですが本研究室の薄膜化技術を利用して研究しております,

 

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