研究室紹介―高速湿度センサーの開発―電子デバイス研究室（指導教員：平松 友康）

  　湿度センサーは、部屋の湿度を知るためだけではなく、エアコン、電子調理機器、美容機器などの電子機器内に使われています。また、湿度管理を必要としている化学工場、バイオ関連の工場などでも必要不可欠なセンサーです。 　当研究室では、新しい感湿メカニズムを持つセラミックス材料の開発を行っています。更にこの材料を、ナノテクを使って、髪の毛の太さの千分の一くらいの厚さのナノ薄膜にし、急な湿度変化があった場合に、瞬時に対応できるような、トップクラスの感湿応答特性を持つ湿度センサーを作成しています。

写真1. 電子ビーム蒸着装置	写真2. 作成したセラミックス薄膜湿度センサー	写真3. Ⅹ線光電子分光装置

  写真1は、真空中で電子ビームを作りたい薄膜の元材料に照射し蒸発させて、堆積させて薄膜を作る、電子ビーム蒸着装置です。

 写真2は、電子ビーム蒸着装置を使って完成したセラミックス薄膜湿度センサーです。

 写真3は、作成した薄膜の特性を評価する装置の一つ、X線光電子分光装置です。

 このほか当研究室では、色々なナノテク装置を駆使してセンサーを開発しています。